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型號 |
E4 |
E6 |
E8 |
E12 |
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外形（長*寬*高/mm） |
680*670*760mm |
680*670*760mm |
750*670*800mm |
1030*800*850mm |
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重量（KG） |
約90kg |
約95kg |
約110kg |
約210kg |
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電力需求 |
220VC,50~60Hz |
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卡盤 常溫標準 |
卡盤尺寸 |
4" |
6" |
8" |
12" |
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樣品固定方式 |
環(huán)形真空吸附（可定制多孔吸附） |
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背電極測試功能 |
有，樣品臺電學獨立懸空 |
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卡盤材質(zhì) |
不銹鋼/銅鍍鎳或鍍金
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卡盤 移動平臺 |
Theta行程 |
360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；微調(diào)范圍±8°，微調(diào)精度0.002° |
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卡盤升降 |
卡盤臺可以上下快速升降5mm，微調(diào)升降行程6mm，精度1μm |
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X-Y行程 |
100*100mm |
150*150mm |
200*200mm |
250*250mm |
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移動精度 |
10μm |
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卡盤快速拉出 |
N/A |
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控制方式 |
小型旋鈕驅(qū)動 |
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針座平臺 |
外形尺寸 |
長550mm*寬405mm |
長720mm*寬405mm |
長980mm*寬480mm |
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卡盤到平臺距離 |
8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）? |
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針座數(shù)量 |
最多可放6個針座 |
最多可放8個針座 |
最多可放10個針座 |
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針座平臺升降 |
N/A |
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針座定位方式 |
磁力吸附或真空吸附 |
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光學特性 |
鏡頭規(guī)格 |
標配PSM-1000金相顯微鏡/可選（GX-6金相，體視，視頻）顯微鏡 |
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放大倍數(shù) |
20-2000X |
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CCD像素 |
3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字） |
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運動控制 |
Z 軸移動行程 50.8 mm，同軸旋鈕調(diào)節(jié)，細調(diào)精度優(yōu)于1μm |
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顯微鏡行程 |
顯微鏡2英寸XY平移臺范圍內(nèi)移動 |
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顯微鏡移動精度 |
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點針規(guī)格 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
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機械精度 |
10μm/2μm/0.7μm |
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漏電精度 |
同軸1pA/V @25℃；三軸100fA/V @25℃; 三軸10pA@3kv @25°C，
測試條件：接地屏蔽的干燥環(huán)境（空氣露點低于-40°C）
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接口形式 |
香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 |
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